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電子特氣

電子特氣作為晶圓制造過程中的第二大耗材，占比接近14%，僅次于硅片，廣泛應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。我司電子特氣產品主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，采用液態(tài)與瓶裝氣體生產模式。

電子特氣	熔點	沸點	蒸汽壓	產品等級
NF3	-50.8℃	-63.8℃	21.5atm	4.5N、5N
SF6	-208.5℃	-129℃	>1atm	4.6N
BCl3	-107℃	12.5 °C	29.72 atm	5N

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